一种金属螺旋微纳结构的制备方法

       本发明涉及微纳结构制备领域，具体涉及一种金属螺旋微纳结构的制备方法，采用涂敷光刻胶，再用电子束刻蚀，最后显影定影的方法制备金属螺旋结构。制备过程只需将写场对准一次，分别曝光四个区域，且只需要蒸镀一次就可以制备出金属螺旋型结构。该结构四周都由光刻胶包围着，可以起到保护金属螺旋微纳结构的作用。