户外照明光源光效提高方法

      本发明提供了一种户外照明光源光效提高方法，包括依次在基板上形成半结晶性层、未掺杂层、N型掺杂层、有源层、P型掺杂层；所述有源层包括周期性重叠的量子阱层和量子垒层，量子阱层为铟镓氮层，量子垒层为氮化镓层，形成至少其中之一量子阱层后通入铟源，通入铟源后通入碳源，通入碳源后形成量子垒层。本发明通过在形成量子阱层后通入铟源，在铟镓氮表面形成铟处理层，铟处理层上通入碳源，高温下碳源分解并与铟处理层接触形成碳二维结构，铟处理层与碳二维结构结合一方面进一步增加量子阱层势阱深度，同时提高载流子浓度和迁移率，进而改善內量子效率，提高光源光效。