一种导电膜气离式刻蚀工艺

 本发明公开了一种导电膜气离式刻蚀工艺，属于刻蚀技术领域，本发明可以通过在蚀刻油墨中掺入多个气离微球，并在导电膜下方间歇性施加磁场，迫使气离微球间歇性的对蚀刻油墨进行挤压，使得蚀刻油墨与导电膜充分接触进行蚀刻，然后对蚀刻油墨进行加热烘干，同时触发气离微球释放气体的动作，使得气体填充至缝隙中有助于蚀刻油墨的剥离，降低蚀刻油墨成膜后的剥离强度，伴随着气体的释放，磁性物质也会充斥于蚀刻油墨的缝隙中，再将磁场转移至导电膜上方，依靠对磁性物质的磁吸作用下，从而对膜产生均匀的多点剥离力，加速膜的剥离，不仅剥离简单，不易出现残留现象，同时可以避免对导电线路造成损伤。