一种基于磁电阻效应的湿度探测器
- 专利号:2021101743853 类型:发明专利 浏览:19次 发布时间:2025-4-4
本发明涉及湿度探测领域,具体提供了一种基于磁电阻效应的湿度探测器,钉扎层置于反铁磁层上,势垒层置于钉扎层上,自由层置于势垒层上,自由层的表面设有孔洞,孔洞不贯穿自由层,孔洞内设有吸湿膨胀材料,反铁磁层的材料为硬磁反铁磁材料,钉扎层的材料为自旋性极化率高的金属或半金属,自由层的材料为磁各向异性弱的软磁材料,势垒层隔开钉扎层和自由层。通过测量在待测湿度环境中和未在待测湿度环境中,磁隧道结磁电阻的差异,确定待测环境的湿度。本发明具有湿度探测灵敏度高的优点。
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